扩散片微结构及物理性能概述 扩散片是一种常用的微电子元件，其微结构和物理性能对于其功能和性能具有重要的影响。本文将从六个方面对扩散片的微结构及物理性能进行详细的阐述。 扩散片的微结构 扩散片的微结构包括材料、形状和尺寸等方面。其中，材料是扩散片微结构的基础，常用的材料有硅、锗、砷化镓等。形状和尺寸对于扩散片的电学性能和机械强度具有重要的影响，常见的形状有圆形、方形、长方形等。扩散片的尺寸一般在几微米到几毫米之间。 扩散片的微结构还包括掺杂浓度和掺杂剂类型等方面。掺杂浓度对于扩散片的电学性能具有